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バルカー
製品番号
製品名 内容 用途 詳細
DC4640 DC156 DC156を断面O形のリング状に成形した濃青色製品で、耐プラズマグレードです。 アーマーシリーズ以上の耐プラズマ性を有し、半導体・液晶関連機器などのドライエッチング・アッシング装置内、CVD装置内に使用します。 詳細 PDFリンク
DS4640 DS403 DS403を断面O形のリング状に成形した黒色製品で、耐プラズマグレードです。 パーフロロエラストマーに匹敵する耐プラズマ性を有し、半導体・液晶関連機器などのドライエッチング・アッシング装置内、CVD装置内に使用します。 詳細 PDFリンク

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