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製品番号
製品名称/
内 容
用 途 寸法・形状
(3DU) ダイナミックベローズ
シリンダー

ダイナミックベローズ Mシリーズを駆動部シールに用いた、クリーン性・耐食性・耐久性に優れたロッドシールのシリンダーです。
各種半導体製造装置・各種液晶製造装置・その他真空装置等のチャンバー内の駆動部に使用します。 仕様詳細を見る
(3DU) クリーンボルト
JIS B 1176ステンレス鋼六角穴付ボルト(鋼種A2)に特殊研磨処理を施した、エアー抜き穴付ボルトで、放出ガス量が少なく表面に油脂分等の付着がありません。又、表面粗さが滑らかな為、齧りが起こりにくくなります。
尚、クリーン仕様で、ナット、スプリングワッシャ、平ワッシャも取り揃えております。
各種半導体製造装置・各種液晶製造装置・その他真空装置・分析機器等の、特に真空領域(チャンバー内)での使用に最適です。 仕様詳細を見る
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本ホームページに掲載された製品データは、2009年12月現在のものに基づき作成されております。最新の仕様はこちらよりお問い合わせください。
本ホームページに掲載された製品データのうち、使用温度・圧力範囲は、弊社のデータ・実績などに基づく適用可能性を記載したものであり、個々の使用条件を想定したものではありません。用途ごとの適応性については、こちらよりお問い合わせください。
本ホームページに掲載された製品は、今後も予告なく仕様変更を行なう場合がございます。
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