バルカー
製品番号 |
製品名称 |
用途・機器 |
| （3DW） |
ダイナミックベローズ |
シリコーン単結晶製造装置 （CZ法・FZ法）の真空駆動部シールおよび真空バルブのシール |
ドライエッチング装置
プラズマエッチング装置、反応性イオンエッチング装置における真空の駆動部シールおよび真空バルブのシール |
| イオン注入装置、拡散炉などの真空の駆動部シールおよび真空バルブのシール |
各種薄膜形成装置
真空蒸着装置、スパッタリング装置、C. V. D. 装置などの真空の駆動部シールおよび真空バルブのシール |
| 3640 |
メタル中空Oリング |
不純物注入装置、成膜装置などの真空シール用ガスケット |
| 3645 |
トライパック |
| 560 |
高純度無酸素銅ガスケット |
真空機器回りの配管や特にベーカブルフランジ用ガスケット |
| 4640 |
ふっ素ゴムOリング |
シリコーン単結晶製造装置、エピタキシャル装置、電子ビーム露光装置、プラズマ関連装置、イオン注入装置、真空蒸着装置、スパッタリング装置、洗浄装置などのエラストマーシール |
| AC4640 |
アーマークリスタル
Oリング |
| F4640 |
フリッドOリング |
| FA4640 |
フリッドアーマー
Oリング |
| SA4640 |
スポックアーマーOリング |
| HA4640 |
ハイレックアーマー
Oリング |
| UA4640 |
アルティ ックアーマー
Oリング |
| LA4640 |
レイブアーマー
Oリング |
| VP4640 |
フローリッツSB
Oリング |
| VPH4640 |
フローリッツHR
Oリング |
| VPTR4640 |
フローリッツTR
Oリング |
| UB4060 |
アルティ ックアーマー
ボンデッドゲートシール |
| FB4060 |
フリッド
ボンデッドゲートシール |
| 5640 |
シリコーンゴムOリング |
シリコーン単結晶製造装置、エピタキシャル装置、電子ビーム露光装置、プラズマ関連装置、イオン注入装置、真空蒸着装置、スパッタリング装置、洗浄装置などのエラストマーシール |
（7BR563）
（7BR564）
（7BR573） |
バルフロン
（一体成形品） |
洗浄工程、エッチング装置、酸化、フォトリングラフィー、拡散、イオン注入装置の薬液および特殊ガスなどが使用される個所（容器、チューブ、配管機材） |
| （7FZ1） |
バルフロンスプレーボール |
（7FH1）
（7FH3） |
バルフロン熱交換器 |
| 7042 |
バルフロンライニング鋼管 |
| 7041 |
バルフロン
フレキシブルホース
（金属被覆） |
|
バルフロン
プライアブルホース |
| 7803 |
バルフロン成形ベローズ |
