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| バルカー 製品番号 |
製品名 | 内容 | 用途 | 詳細 |
|---|---|---|---|---|
| DC4640 | DC156 | DC156を断面O形のリング状に成形した濃青色製品で、耐プラズマグレードです。 | アーマーシリーズ以上の耐プラズマ性を有し、半導体・液晶関連機器などのドライエッチング・アッシング装置内、CVD装置内に使用します。 |
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