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バルカー
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内容
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詳細
H4640
耐熱ふっ素ゴムOリング
固定用
耐熱ふっ素ゴムを断面O形のリング状に成形したものです。 (黒)
耐熱ふっ素ゴムは、これまでの汎用ふっ素ゴムシール製品と比較し、圧縮永久歪特性を大幅に向上させ、シール寿命の延長によりメンテナンスサイクルの低減が期待できる製品です。
HA4640
ハイレックアーマー
ハイレックアーマーを断面O形のリング状に成形したものです。
純粋性、耐プラズマ性、耐熱性、金属に対しての非粘着性に優れています。(固定部専用)半導体・液晶関連機器のドライエッチング・アッシング装置内、CVD装置内に使用します。
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