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金属ベローズ
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バルカー
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内容
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(3DW)
ダイナミックべローズ
各種金属の薄板を断面がS型・Y型などのリング状に成形後、内径および外径を溶接加工した金属溶接べローズです。
柔軟な伸縮性やバネ定数を生かして、各種バルブのステムシール用、半導体製造装置における真空の駆動部シール用、加速器、および核融合装置の真空シール用伸縮管継手、油量調整用、脈動吸収用メカニカルシール用などに使用します。
圧力範囲:
極高真空~49MPa(500kgf/cm
2
)
製作範囲:
内径 φ3~φ1,000mm
(角形は2,000mm角)
板厚 0.03~1.0mm
形状 円、楕円、角
山数 任意
材質 SUS(304、304L、316、316L、321、347)、AM-350、インコネル、ハステロイ、チタン、モネルなど
(3DW)
ダイナミックべローズ(Vシリーズ)
自由長10mmを1ブロックとし、ブロックを自由に組み合わせて伸縮量に応じて使いやすくした標準の金属溶接べローズです。
標準サイズ、ブロック数の組み合わせで各種機器に使用します。
圧力限界:差圧 0.098MPa(1kgf/cm
2
)
製作範囲:
内径 φ8~φ210mm
標準材質 SUS304
(準標準 SUS316L)
(3DW)
ダイナミックべローズ(M(メガ)シリーズ)
構造解析技術を駆使して開発した、長寿命でありながら低価格の金属溶接べローズです。
各種真空機器、半導体製造装置、べローズシリンダー等の駆動部シール、べローズポンプ、マニピュレーター他に使用します。
標準寸法:内径 φ8~φ50mm
標準材質:SUS316L
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