アーマークリスタル

用途・機器

配合剤を使用していないために非常に純粋性に優れています。また金属に対しての非粘着性、耐プラズマ性に優れており、半導体・液晶関連機器などのドライエッチング・アッシング装置内、CVD装置内に使用します。