クリスタルラバー

用途・機器

独自の配合設計により純粋性、金属に対しての非粘着性、耐プラズマ性にすぐれており、半導体・液晶関連機器などのドライエッチング・アッシング装置内、CDV装置内、ウェーハ及びガラスの搬送用ローラーで使用します。