フリッドボンデッドシール

用途・機器

半導体製造装置に使用されるOリング装着タイプのトランスファーゲートシール機構において、Oリングシール材のねじれ、破断、発塵、脱落等の問題を解決するために使用します。ロードロックチャンバー等の不活性ガス環境下専用です。