半導体製造産業
| バルカー 製品番号 | 製品名称 | 用途・機器 |
|---|---|---|
| （3DW） | ダイナミックベローズ | シリコン単結晶製造装置 （CZ法・FZ法）の 真空駆動部シールおよび真空バルブのシール |
| ドライエッチング装置 | ||
| プラズマエッチング装置、反応性イオンエッチング装置 における真空の駆動部シールおよび真空バルブのシール |
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| イオン注入装置、拡散炉などの真空の駆動部シール および真空バルブのシール |
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| 各種薄膜形成装置 | ||
| 真空蒸着装置、スパッタリング装置、CVD装置などの 真空の駆動部シールおよび真空バルブのシール |
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| 3640 | メタル中空Oリング | 不純物注入装置、成膜装置などの真空シール用ガスケット |
| 3645 | トライパック | |
| 560 | 高純度無酸素銅 ガスケット | 真空機器回りの配管や特にベーカブルフランジ用ガスケット |
| 4640 | ふっ素ゴムOリング | シリコン単結晶製造装置、エピタキシャル装置、 電子ビーム露光装置、プラズマ関連装置、イオン注入装置、 真空蒸着装置、スパッタリング装置、洗浄装置などのエラストマーシール |
| AC4640 | アーマークリスタル Oリング |
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| F4640 | フリッドOリング | |
| FA4640 | フリッドアーマー Oリング |
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| SA4640 | スポックアーマー Oリング |
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| HA4640 | ハイレックアーマー Oリング |
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| UA4640 | アルティ ックアーマー Oリング |
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| LA4640 | レイブアーマー Oリング |
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| UB4060 | アルティ ックアーマー ボンデッドゲートシール |
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| FB4060 | フリッド ボンデッド ゲートシール |
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| 5640 | シリコーンゴム Oリング |
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| （7BR573） | バルフロン （一体成形品） | 洗浄工程、エッチング装置、酸化、フォトリングラフィー、 拡散、イオン注入装置の薬液および特殊ガスなどが 使用される個所（容器、チューブ、配管機材） |
| （7FZ1） | バルフロンスプレーボール | |
| （7FH1） | バルフロン熱交換器 | |
| （7FH3） | ||
| 7042 | バルフロン ライニング鋼管 |
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| 7041 | バルフロン フレキシブルホース （金属被覆） |
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| 7046-1 | バルフロン プライアブルホース |
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| 7046-2 | ||
| 7803 | バルフロン成形ベローズ |
