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バルカー
製品番号
製品名 内容 用途 詳細
3640 メタル中空Oリングガスケット
(基本形)
金属管をエンドレス加工した金属中空Oリングです。必要に応じメッキなどの表面コートを施します。 航空機、原子炉、真空機器、内燃機、電子機器、油圧機器、プラスチック加工機械、溶融紡糸装置などのガスケットとして使用します。 詳細 PDFリンク
3641 メタル中空Oリングガスケット
(バランス形)
No.3640の内側(内圧用)または外側(外圧用)にバランス用の小孔をあけたものです。 航空機、原子炉、真空機器、内燃機、電子機器、油圧機器、プラスチック加工機械、溶融紡糸装置などのガスケットとして使用します。 詳細 PDFリンク
3645 トライパック
二重被覆品
コイルスプリングを弾性要素とし、これをアルミニウムなどの薄い金属板で二重に被覆した金属Cリングです。 真空および超高真空用のガスケットとして使用します。 使用済み核燃料貯蔵キャスク蓋部のシールなどに使用します。 詳細 PDFリンク
3645 トライパック
一重被覆品
コイルスプリングを弾性要素とし、これをアルミニウムなどの薄い金属板で被覆した金属Cリングです。 真空および超高真空用のガスケットとして使用します。 使用済み核燃料貯蔵キャスク蓋部のシールなどに使用します。 詳細 PDFリンク
3645 トライパック
二重被覆品内被分割タイプ
コイルスプリングを弾性要素とし、これをアルミニウムなどの薄い金属板で二重に被覆し、内被分割した金属Cリングです。 真空および超高真空用のガスケットとして使用します。 使用済み核燃料貯蔵キャスク蓋部のシールなどに使用します。 詳細 PDFリンク
3645LS トライパック
二重被覆品低締付タイプ
低い締付負荷でも、所定の気密性能が得られるように、従来のトライパックの上下シール面にV溝加工を施し、シール面とのなじみ性を改善したガスケットです。 真空および超高真空用のガスケットとして使用します。 使用済み核燃料貯蔵キャスク蓋部のシールなどに使用します。 詳細 PDFリンク
(3DU) ダイナミックベローズ
シリンダー
ダイナミックベローズ Mシリーズを駆動部シールに用いた、クリーン性・耐食性・耐久性に優れたロッドシールのシリンダーです。 各種半導体製造装置・各種液晶製造装置・その他真空装置等のチャンバー内の駆動部に使用します。

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(3DW) ダイナミックべローズ 各種金属の薄板を断面がS型・Y型などのリング状に成形後、内径および外径を溶接加工した金属溶接べローズです。 柔軟な伸縮性やバネ定数を生かして、各種バルブのステムシール用、半導体製造装置における真空の駆動部シール用、加速器、および核融合装置の真空シール用伸縮管継手、油量調整用、脈動吸収用メカニカルシール用などに使用します。

圧力範囲:
極高真空~49MPa(500kgf/cm2

製作範囲:
内径 φ3~φ1,000mm
(角形は2,000mm角)
板厚 0.03~1.0mm
形状 円、楕円、角
山数 任意
材質 SUS(304、304L、316、316L、321、347)、AM-350、インコネル、ハステロイ、チタン、モネルなど
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(3DW) ダイナミックべローズ(Vシリーズ) 自由長10mmを1ブロックとし、ブロックを自由に組み合わせて伸縮量に応じて使いやすくした標準の金属溶接べローズです。 標準サイズ、ブロック数の組み合わせで各種機器に使用します。

圧力限界:差圧 0.098MPa(1kgf/cm2

製作範囲:
内径 φ8~φ210mm
標準材質 SUS304
(準標準 SUS316L)
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(3DW) ダイナミックべローズ(M(メガ)シリーズ) 構造解析技術を駆使して開発した、長寿命でありながら低価格の金属溶接べローズです。 各種真空機器、半導体製造装置、べローズシリンダー等の駆動部シール、べローズポンプ、マニピュレーター他に使用します。

標準寸法:内径 φ8~φ50mm
標準材質:SUS316L
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(3FC16A)
2方弁
(3FC16L)
3方弁
急速開閉形シリンダバルブ
〔形式〕
HS2:2方弁
HS3:3方弁
バルブ本体に、操作用空気圧シリンダを一体化したコンパクトでかつ軽量なバルブです。空気消費量が少なく、長期間安定したシール性が得られます。 高頻度高速開閉が可能なため、特に製鉄所の圧延ラインの冷却水用及びN2ガス発生装置用として使用します。

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