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| バルカー 製品番号 |
製品名 | 内容 | 用途 | 詳細 |
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| WD4640 | アーキュリーAD | 酸性溶液に対する耐性が優れ、金属・有機物溶出量が低減されているため純粋性に優れた濃琥珀透明製品です。 | Ⅰ.ウエハー、ガラス基板洗浄装置 Ⅱ.スピンコータ、スピンデベロッパ Ⅲ.薬液搬送容器シール Ⅳ.バルブシール Ⅴ.フィルターシール Ⅵ.継手シールなどに使用します。 |
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| WL4640 | アーキュリーAL | 従来のふっ素ゴムでは使用困難であったアンモニアをはじめとするアルカリ溶液に対する耐性が優れた黒色製品です。 | Ⅰ.ウエハー、ガラス基板洗浄装置 Ⅱ.スピンコータ、スピンデベロッパ Ⅲ.薬液搬送容器シール Ⅳ.バルブシール Ⅴ.フィルターシール Ⅵ.継手シールなどに使用します。 |
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