Oリング

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バルカー
製品番号
製品名 内容 用途 詳細
4640 ふっ素ゴムOリング
固定用
ふっ素ゴムを断面O形のリング状に成形したものです。白色、茶色などのカラーOリングもあります。 耐熱・耐薬品・耐油性などを必要とする機器のシールとして使用します。 詳細 PDFリンク
4640 ふっ素ゴムOリング
運動用
ふっ素ゴムを断面O形のリング状に成形したものです。白色、茶色などのカラーOリングもあります。 耐熱・耐薬品・耐油性などを必要とする機器のシールとして使用します。 詳細 PDFリンク
5640 シリコーンゴムOリング
固定用
シリコーンゴムを断面O形のリング状に成形したものです。 低温から高温までの広い温度範囲を必要とする固定用シールとして使用します。 詳細 PDFリンク
5640 シリコーンゴムOリング
運動用
シリコーンゴムを断面O形のリング状に成形したものです。 低温から高温までの広い温度範囲を必要とする固定用シールとして使用します。 詳細 PDFリンク
640 合成ゴムOリング
固定用
合成ゴムを断面O形のリング状に成形したものです。 低摩擦の潤滑性ゴム材料もあります。 構造が簡単でシールの方向性がないため、機器の固定用ガスケットおよび運動用パッキンとして広い圧力範囲で使用可能です。 詳細 PDFリンク
640 合成ゴムOリング
運動用
合成ゴムを断面O形のリング状に成形したものです。低摩擦の潤滑性ゴム材料もあります。 構造が簡単でシールの方向性がないため、機器の固定用ガスケットおよび運動用パッキンとして広い圧力範囲で使用可能です。 詳細 PDFリンク
AC4640 アーマークリスタル アーマークリスタルを断面O形のリング状に成形したものです。 配合剤を使用していないために非常に純粋性に優れています。また金属に対しての非粘着性、耐プラズマ性に優れており、半導体・液晶関連機器などのドライエッチング・アッシング装置内、CVD装置内に使用します。 詳細 PDFリンク
C4640 クリスタルラバー クリスタルラバーを断面O形のリング状に成形した無色透明製品で、パーティクル対策グレードです。 独自の配合設計により純粋性、金属に対しての非粘着性、耐プラズマ性にすぐれており、半導体・液晶関連機器などのドライエッチング・アッシング装置内、CDV装置内、ウェーハ及びガラスの搬送用ローラーで使用します。 詳細 PDFリンク
DC4640 DC156 DC156を断面O形のリング状に成形した濃青色製品で、耐プラズマグレードです。 アーマーシリーズ以上の耐プラズマ性を有し、半導体・液晶関連機器などのドライエッチング・アッシング装置内、CVD装置内に使用します。 詳細 PDFリンク
DS4640 DS403 DS403を断面O形のリング状に成形した黒色製品で、耐プラズマグレードです。 パーフロロエラストマーに匹敵する耐プラズマ性を有し、半導体・液晶関連機器などのドライエッチング・アッシング装置内、CVD装置内に使用します。 詳細 PDFリンク
F4640 フリッド フリッドを断面O形のリング状に成形したものです。 機械的特性に優れ、半導体・液晶関連機器などの真空ゲート部のシール、搬送用ベルトとして使用します。 詳細 PDFリンク
FA4640 フリッドア-マ- フリッドアーマーを断面O形のリング状に成形したものです。 機械的特性、金属に対しての非粘着性に優れています。 主に半導体・液晶関連機器の真空ゲート部のシールとして使用します。 詳細 PDFリンク
H4640 耐熱ふっ素ゴムOリング
固定用
耐熱ふっ素ゴムを断面O形のリング状に成形したものです。 (黒) 耐熱ふっ素ゴムは、これまでの汎用ふっ素ゴムシール製品と比較し、圧縮永久歪特性を大幅に向上させ、シール寿命の延長によりメンテナンスサイクルの低減が期待できる製品です。 詳細 PDFリンク
HA4640 ハイレックアーマー ハイレックアーマーを断面O形のリング状に成形したものです。 純粋性、耐プラズマ性、耐熱性、金属に対しての非粘着性に優れています。(固定部専用)半導体・液晶関連機器のドライエッチング・アッシング装置内、CVD装置内に使用します。 詳細 PDFリンク
LA4640 レイブアーマー レイブアーマーを断面O形のリング状に成形したものです。 耐酸素プラズマ性、石英に対しての非粘着性に優れています。半導体・液晶関連機器のアッシング装置内に使用します。 詳細 PDFリンク
MC4640 オプティックアーマー オプティックアーマーを断面O形のリング状に成形した無色透明製品で、低放出ガスグレードです。 独自の配合設計と梱包仕様により非常に純粋性にすぐれています。また金属に対しての非粘着性にすぐれており、露光装置等の放出ガスを嫌う用途に使用します。 詳細 PDFリンク
NRF4640 ニューラバフロンふっ素ゴムOリング
固定用
No.4640の表面を改質し、強じんな皮膜を形成させたものです。 表面は低摩擦であり、製品同士や機器との粘着がなく連続自動装着が可能です。主に固定用のシールとして使用します。 詳細 PDFリンク
NRF640 ニューラバフロンOリング
固定用
No.640の表面を改質し、強じんな皮膜を形成させたものです。 表面は低摩擦であり、製品同士や機器との粘着がなく連続自動装着が可能です。主に固定用のシールとして使用します。 詳細 PDFリンク
OZT4640 アーキュリーOZT オゾンガス・オゾン水に対する耐性が優れ、金属・有機物溶出量が低減されているため純粋性に優れた無色透明製品です。 Ⅰ.オゾン洗浄装置 Ⅱ.オゾン発生装置 Ⅲ.オゾン分解装置などに使用します。 詳細 PDFリンク
OZW4640 アーキュリーOZW オゾンガス・オゾン水に対する耐性が優れています。アーキュリーOZTに比べると耐熱性が向上した白色製品です。 Ⅰ.オゾン洗浄装置 Ⅱ.オゾン発生装置 Ⅲ.オゾン分解装置などに使用します。 詳細 PDFリンク
P9640 タフレタンOリング
固定用
ウレタンゴムを断面O形のリング状に成形したものです。 主に高圧用のシールとして使用します。 詳細 PDFリンク
SA4640 スポックアーマー スポックアーマーを断面O形のリング状に成形したものです。 純粋性、耐プラズマ性、石英に対しての非粘着性に優れています。半導体・液晶関連機器のドライエッチング・アッシング装置内、CVD装置内に使用します。 詳細 PDFリンク
UA4640 アルティックアーマー アルティックアーマーを断面O形のリング状に成形したものです。 純粋性、耐プラズマ性、耐熱性、金属に対しての非粘着性に優れています。半導体・液晶関連機器のドライエッチング・アッシング装置内、CVD装置内に使用します。 詳細 PDFリンク
UAF4640 アルティックアーマーエフ アルティックアーマーエフを断面O形のリング状に成形したものです。 純粋性、耐プラズマ性、耐熱性、金属に対しての非粘着性に優れています。半導体・液晶関連機器のドライエッチング・アッシング装置内、CVD装置内に使用します。 詳細 PDFリンク
VP4640 フローリッツSB パーフロロエラストマーであるフローリッツSBを断面O形のリングに成形したものです。耐薬品性に極めて優れています。 半導体・液晶関連・化学工業関連、電気・電子関連向けにおいて耐薬品性が要求される箇所に使用します。 詳細 PDFリンク
VPHS4640 フローリッツHS パーフロロエラストマーであるフローリッツHSを断面O形のリングに成形した濃褐色の半導体製造装置における熱拡散工程専用の製品です。フローリッツシリーズで最高の耐熱性を有し、耐ラジカル性、純粋性、低歪特性にも優れています。 半導体製造の熱拡散装置内での耐熱性が要求される箇所に使用します。 詳細 PDFリンク
VPT4640 フローリッツT20 パーフロロエラストマーであるフローリッツT20を断面O形のリングに成形した黒色製品です。高い耐ラジカル性を有しつつ、純粋性、低歪特性、耐熱性、動的部位でのシール性にも優れています。 半導体・液晶関連機器のドライエッチング・アッシング装置内、CVD装置内の高い耐ラジカル性が要求されるゲート部位に使用します。 詳細 PDFリンク
VPTR4640 フローリッツTR パーフロロエラストマーであるフローリッツTRを断面O形のリングに成形したものです。高い耐ラジカル性を有しつつ、純粋性、低歪特性、耐熱性にも優れています。 半導体・液晶関連機器のドライエッチング・アッシング装置内、CVD装置内の高い耐ラジカル性が要求される箇所に使用します。 詳細 PDFリンク
WD4640 アーキュリーAD 酸性溶液に対する耐性が優れ、金属・有機物溶出量が低減されているため純粋性に優れた濃琥珀透明製品です。 Ⅰ.ウエハー、ガラス基板洗浄装置 Ⅱ.スピンコータ、スピンデベロッパ Ⅲ.薬液搬送容器シール Ⅳ.バルブシール Ⅴ.フィルターシール Ⅵ.継手シールなどに使用します。 詳細 PDFリンク
WL4640 アーキュリーAL 従来のふっ素ゴムでは使用困難であったアンモニアをはじめとするアルカリ溶液に対する耐性が優れた黒色製品です。 Ⅰ.ウエハー、ガラス基板洗浄装置 Ⅱ.スピンコータ、スピンデベロッパ Ⅲ.薬液搬送容器シール Ⅳ.バルブシール Ⅴ.フィルターシール Ⅵ.継手シールなどに使用します。 詳細 PDFリンク
WO4640 アーキュリーSO ケトン類、エステル類、アミン類などの極性有機溶媒に対する耐性が優れた白色製品です。 Ⅰ.ウエハー、ガラス基板洗浄装置 Ⅱ.スピンコータ、スピンデベロッパ Ⅲ.薬液搬送容器シール Ⅳ.バルブシール Ⅴ.フィルターシール Ⅵ.継手シールなどに使用します。 詳細 PDFリンク

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