半導体製造産業

バルカー
製品番号
製品名称用途・機器
(3DW)ダイナミックベローズシリコン単結晶製造装置 (CZ法・FZ法)の
真空駆動部シールおよび真空バルブのシール
ドライエッチング装置
プラズマエッチング装置、反応性イオンエッチング装置
における真空の駆動部シールおよび真空バルブのシール
イオン注入装置、拡散炉などの真空の駆動部シール
および真空バルブのシール
各種薄膜形成装置
真空蒸着装置、スパッタリング装置、CVD装置などの
真空の駆動部シールおよび真空バルブのシール
3640メタル中空Oリング不純物注入装置、成膜装置などの真空シール用ガスケット
3645トライパック
560高純度無酸素銅
ガスケット
真空機器回りの配管や特にベーカブルフランジ用ガスケット
4640ふっ素ゴムOリングシリコン単結晶製造装置、エピタキシャル装置、
電子ビーム露光装置、プラズマ関連装置、イオン注入装置、
真空蒸着装置、スパッタリング装置、洗浄装置などのエラストマーシール
AC4640アーマークリスタル
Oリング
F4640フリッドOリング
FA4640フリッドアーマー
Oリング
SA4640スポックアーマー
Oリング
HA4640ハイレックアーマー
Oリング
UA4640アルティ ックアーマー
Oリング
LA4640レイブアーマー
Oリング
VP4640フローリッツSB
Oリング
VPH4640フローリッツHR
Oリング
VPTR4640フローリッツTR
Oリング
UB4060アルティ ックアーマー
ボンデッドゲートシール
FB4060フリッド ボンデッド
ゲートシール
5640シリコーンゴム
Oリング
(7BR573)バルフロン
(一体成形品)
洗浄工程、エッチング装置、酸化、フォトリングラフィー、
拡散、イオン注入装置の薬液および特殊ガスなどが
使用される個所(容器、チューブ、配管機材)
(7FZ1)バルフロンスプレーボール
(7FH1)バルフロン熱交換器
(7FH3)
7042バルフロン
ライニング鋼管
7041バルフロン
フレキシブルホース
(金属被覆)
7046-1バルフロン
プライアブルホース
7046-2
7803バルフロン成形ベローズ

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