フリッドボンデッドシール


バルカー 製品番号 |
製品名 | 内容 | 用途 | 詳細 |
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FB4060 | フリッドボンデッドシール | トランスファーゲート金属に焼付け、一体成形したゲートシールプレートです。 | 半導体製造装置に使用されるOリング装着タイプのトランスファーゲートシール機構において、Oリングシール材のねじれ、破断、発塵、脱落等の問題を解決するために使用します。ロードロックチャンバー等の不活性ガス環境下専用です。 |
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