株式会社バルカー

スポックアーマー

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バルカー
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SA4640 スポックアーマー スポックアーマーを断面O形のリング状に成形したものです。 純粋性、耐プラズマ性、石英に対しての非粘着性に優れています。半導体・液晶関連機器のドライエッチング・アッシング装置内、CVD装置内に使用します。 詳細 PDFリンク

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