株式会社バルカー

アルティックアーマーボンデッドシール

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バルカー
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UB4060 アルティックアーマーボンデッドシール トランスファーゲート金属に焼付け、一体成形したゲートシールプレートです。 半導体製造装置に使用されるOリング装着タイプのトランスファーゲートシール機構において、Oリングシール材のねじれ、破断、発塵、脱落等の問題を解決するために使用します。汎用フッ素ゴムでは使用出来ないガス環境下に適応します。 詳細 PDFリンク

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