フローリッツT20
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| バルカー 製品番号 |
製品名 | 内容 | 用途 | 詳細 |
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| VPT4640 | フローリッツT20 | パーフロロエラストマーであるフローリッツT20を断面O形のリングに成形した黒色製品です。高い耐ラジカル性を有しつつ、純粋性、低歪特性、耐熱性、動的部位でのシール性にも優れています。 | 半導体・液晶関連機器のドライエッチング・アッシング装置内、CVD装置内の高い耐ラジカル性が要求されるゲート部位に使用します。 |
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