株式会社バルカー

Ｏリング

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バルカー製品番号	製品名	内容	用途
4640	ふっ素ゴムOリング固定用	ふっ素ゴムを断面O形のリング状に成形したものです。白色、茶色などのカラーOリングもあります。	耐熱・耐薬品・耐油性などを必要とする機器のシールとして使用します。
4640	ふっ素ゴムOリング運動用	ふっ素ゴムを断面O形のリング状に成形したものです。白色、茶色などのカラーOリングもあります。	耐熱・耐薬品・耐油性などを必要とする機器のシールとして使用します。
5640	シリコーンゴムOリング固定用	シリコーンゴムを断面O形のリング状に成形したものです。	低温から高温までの広い温度範囲を必要とする固定用シールとして使用します。
5640	シリコーンゴムOリング運動用	シリコーンゴムを断面O形のリング状に成形したものです。	低温から高温までの広い温度範囲を必要とする固定用シールとして使用します。
640	合成ゴムOリング固定用	合成ゴムを断面O形のリング状に成形したものです。低摩擦の潤滑性ゴム材料もあります。	構造が簡単でシールの方向性がないため、機器の固定用ガスケットおよび運動用パッキンとして広い圧力範囲で使用可能です。
640	合成ゴムOリング運動用	合成ゴムを断面O形のリング状に成形したものです。低摩擦の潤滑性ゴム材料もあります。	構造が簡単でシールの方向性がないため、機器の固定用ガスケットおよび運動用パッキンとして広い圧力範囲で使用可能です。
AC4640	アーマークリスタル	アーマークリスタルを断面O形のリング状に成形したものです。	配合剤を使用していないために非常に純粋性に優れています。また金属に対しての非粘着性、耐プラズマ性に優れており、半導体・液晶関連機器などのドライエッチング・アッシング装置内、CVD装置内に使用します。
C4640	クリスタルラバー	クリスタルラバーを断面O形のリング状に成形した無色透明製品で、パーティクル対策グレードです。	独自の配合設計により純粋性、金属に対しての非粘着性、耐プラズマ性にすぐれており、半導体・液晶関連機器などのドライエッチング・アッシング装置内、CDV装置内、ウェーハ及びガラスの搬送用ローラーで使用します。
DC4640	DC156	DC156を断面O形のリング状に成形した濃青色製品で、耐プラズマグレードです。	アーマーシリーズ以上の耐プラズマ性を有し、半導体・液晶関連機器などのドライエッチング・アッシング装置内、CVD装置内に使用します。
F4640	フリッド	フリッドを断面O形のリング状に成形したものです。	機械的特性に優れ、半導体・液晶関連機器などの真空ゲート部のシール、搬送用ベルトとして使用します。
FA4640	フリッドア－マ－	フリッドアーマーを断面O形のリング状に成形したものです。	機械的特性、金属に対しての非粘着性に優れています。主に半導体・液晶関連機器の真空ゲート部のシールとして使用します。
H4640	耐熱ふっ素ゴムOリング固定用	耐熱ふっ素ゴムを断面O形のリング状に成形したものです。　（黒）	耐熱ふっ素ゴムは、これまでの汎用ふっ素ゴムシール製品と比較し、圧縮永久歪特性を大幅に向上させ、シール寿命の延長によりメンテナンスサイクルの低減が期待できる製品です。
HA4640	ハイレックアーマー	ハイレックアーマーを断面O形のリング状に成形したものです。	純粋性、耐プラズマ性、耐熱性、金属に対しての非粘着性に優れています。（固定部専用）半導体・液晶関連機器のドライエッチング・アッシング装置内、CVD装置内に使用します。
LA4640	レイブアーマー	レイブアーマーを断面O形のリング状に成形したものです。	耐酸素プラズマ性、石英に対しての非粘着性に優れています。半導体・液晶関連機器のアッシング装置内に使用します。
MC4640	オプティックアーマー	オプティックアーマーを断面O形のリング状に成形した無色透明製品で、低放出ガスグレードです。	独自の配合設計と梱包仕様により非常に純粋性にすぐれています。また金属に対しての非粘着性にすぐれており、露光装置等の放出ガスを嫌う用途に使用します。
NRF4640	ニューラバフロンふっ素ゴムOリング固定用	No.4640の表面を改質し、強じんな皮膜を形成させたものです。	表面は低摩擦であり、製品同士や機器との粘着がなく連続自動装着が可能です。主に固定用のシールとして使用します。
NRF640	ニューラバフロンOリング固定用	No.640の表面を改質し、強じんな皮膜を形成させたものです。	表面は低摩擦であり、製品同士や機器との粘着がなく連続自動装着が可能です。主に固定用のシールとして使用します。
OZT4640	アーキュリーOZT	オゾンガス・オゾン水に対する耐性が優れ、金属・有機物溶出量が低減されているため純粋性に優れた無色透明製品です。	Ⅰ.オゾン洗浄装置　Ⅱ.オゾン発生装置　Ⅲ.オゾン分解装置などに使用します。
OZW4640	アーキュリーOZW	オゾンガス・オゾン水に対する耐性が優れています。アーキュリーOZTに比べると耐熱性が向上した白色製品です。	Ⅰ.オゾン洗浄装置　Ⅱ.オゾン発生装置　Ⅲ.オゾン分解装置などに使用します。
P9640	タフレタンOリング固定用	ウレタンゴムを断面O形のリング状に成形したものです。	主に高圧用のシールとして使用します。
SA4640	スポックアーマー	スポックアーマーを断面O形のリング状に成形したものです。	純粋性、耐プラズマ性、石英に対しての非粘着性に優れています。半導体・液晶関連機器のドライエッチング・アッシング装置内、CVD装置内に使用します。
UA4640	アルティックアーマー	アルティックアーマーを断面O形のリング状に成形したものです。	純粋性、耐プラズマ性、耐熱性、金属に対しての非粘着性に優れています。半導体・液晶関連機器のドライエッチング・アッシング装置内、CVD装置内に使用します。
UAF4640	アルティックアーマーエフ	アルティックアーマーエフを断面O形のリング状に成形したものです。	純粋性、耐プラズマ性、耐熱性、金属に対しての非粘着性に優れています。半導体・液晶関連機器のドライエッチング・アッシング装置内、CVD装置内に使用します。
WD4640	アーキュリーAD	酸性溶液に対する耐性が優れ、金属・有機物溶出量が低減されているため純粋性に優れた濃琥珀透明製品です。	Ⅰ.ウエハー、ガラス基板洗浄装置　Ⅱ.スピンコータ、スピンデベロッパ　Ⅲ.薬液搬送容器シール　Ⅳ.バルブシール　Ⅴ.フィルターシール　Ⅵ.継手シールなどに使用します。
WL4640	アーキュリーAL	従来のふっ素ゴムでは使用困難であったアンモニアをはじめとするアルカリ溶液に対する耐性が優れた黒色製品です。	Ⅰ.ウエハー、ガラス基板洗浄装置　Ⅱ.スピンコータ、スピンデベロッパ　Ⅲ.薬液搬送容器シール　Ⅳ.バルブシール　Ⅴ.フィルターシール　Ⅵ.継手シールなどに使用します。

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